发明名称 DISPLAY DEVICE
摘要 <p>본 발명은 표시 장치의 화소부에 이용되는 고신뢰성을 갖는 산화물 반도체막을 포함하는 트랜지스터를 제공한다. 제 1 게이트 전극과, 제 1 게이트 전극 위에 형성된 제 1 게이트 절연막과, 제 1 게이트 절연막 위에 형성된 산화물 반도체막과, 산화물 반도체막 위에 형성된 소스 전극 및 드레인 전극과, 소스 전극, 드레인 전극 및 산화물 반도체막 위에 형성된 제 2 게이트 절연막과, 제 2 게이트 절연막 위에 형성된 제 2 게이트 전극과, 제 2 게이트 절연막 위에 형성된 평탄성을 갖는 유기 수지막과, 평탄성을 갖는 유기 수지막 위에 형성된 화소 전극을 갖고, 산화물 반도체막은 이차이온 질량 분석법으로 검출되는 수소 원자의 농도가 1×10cm미만인 표시 장치이다.</p>
申请公布号 KR101523358(B1) 申请公布日期 2015.05.27
申请号 KR20147002547 申请日期 2010.11.11
申请人 发明人
分类号 G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 G02F1/1368
代理机构 代理人
主权项
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