一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺

摘要

本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO₂球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO₂纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化-还原，制取图案化碳-锡复合材料微结构。本发明提出了一种基于C-MEMS的优化工艺以制作图案化的碳-锡复合材料微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术和微纳米结构合成的方法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的碳-锡复合材料微结构有着较好的机械性能，较高的化学稳定性和较好的电化学性能。

主权项

一种新型图案化碳‑锡复合材料微结构的微加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：通过水热法制取SnO₂球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶‑SnO₂纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化‑还原，制取图案化碳‑锡复合材料微结构。