干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统

摘要

本发明为高集成度和实用性的干式真空泵抽气工艺模拟测试方法和测试系统，通过组建的模拟真空室，集成了气、液、电、磁、热、粉尘、腐蚀性等多种干式真空泵应用环境中常见的元素，使用多种传感器对同时具有温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声等信号进行反馈，并通过多个控制系统进行监控，对干式真空泵抽气工艺适应情况进行检验和完善。本发明的测试系统采用严格的污染物收集和接驳处理，并具有危险示警和自动保护功能系统，具有安全性、智能性、绿色环保的特点和良好的可重复性，可以模拟包括输送、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、光刻、化工、制药等在内的清洁、轻度污染、中度污染和重度污染真空环境的真空泵抽气工艺环境。

主权项

一种干式真空泵抽气工艺模拟测试方法，其特征在于，连接待测试的干式真空泵，通过组合和设定集成化的模拟测试系统中的各种输入元素，模拟各种实际被抽真空环境的抽气工艺，同时对待测试的干式真空泵进行测试运转，在线连续测试各路测试信号，考察真空泵在实际工作时的各项指标运转情况和对抽气环境的适应情况，对真空泵的设计制造和抽气工艺的设定进行改善和优化；同时，对真空泵的出厂质量进行检验，以达到对应用于各种真空环境下真空泵适应情况进行测试和改善产品的目的。