一种多指型微夹持器

摘要

一种多指型微夹持器，其包括平面梳齿静电驱动结构、竖直交错梳齿结构、末端夹持结构、辅助指结构，平面梳齿静电驱动结构包括平面静齿和平面动齿，在平面静齿和平面动齿上加载电压，在静电力作用下完成夹持；竖直交错梳齿结构实现释放辅助指结构的动作，在静电力作用下，通过一杠杆机构驱动辅助指结构摆动，完成辅助释放功能。本发明的多指型微夹持器加工在一片单晶硅上，集成化程度高，整体结构紧凑，将夹持和释放制作在一套机构上，可实现多种环境下的微小对象操作，尤其是微小对象的释放操作，拓宽了应用范围。

主权项

一种多指型微夹持器，设于一硅基体上，所述多指型微夹持器包括静电驱动结构、末端夹持结构，其特征在于：所述多指型微夹持器还包括辅助指结构，所述静电驱动结构包括平面梳齿静电驱动结构及驱动辅助指结构动作的竖直交错梳齿结构，所述平面梳齿静电驱动结构包括第一静电驱动器及在第一静电驱动器的作用下做夹持或松开微小对象的两个夹持臂，所述平面梳齿静电驱动结构包括均由第一静电驱动器控制的平面静齿及平面动齿，所述夹持臂位于平面动齿的末端，所述竖直交错梳齿结构包括与辅助指结构连接的连接部及驱动辅助指结构摆动的第二静电驱动器，所述连接部为一杠杆结构，所述杠杆结构支撑于硅基体上的一支撑梁结构上，所述杠杆结构的末端设有所述的辅助指结构，所述第二静电驱动器为两组通过杠杆结构间接驱动辅助指结构上下运动的竖直交错电容。