| 摘要 |
Пристрій для нанесення покриттів із хімічних сполук, до складу якого входять вакуумна технологічна камера, аксіальна газорозрядна електронна гармата, система автоматичного керування струмом гармати, система автоматичного контролю тиску в технологічній камері, радіаційний нагрівач підкладки та електрод у вигляді сітки, розташованої біля підкладки. Аксіальна газорозрядна електронна гармата з'єднана з вакуумною технологічною камерою через канал з обмеженою пропускною спроможністю проходження газу, на якому встановлені магнітні котушки для фокусування та сканування електронного пучка, до аксіальної газорозрядної електронної гармати приєднаний електромагнітний натікач газу системи автоматичного регулювання струму гармати, а на стінці вакуумної технологічної камери, протилежній від аксіальної газорозрядної електронної гармати, встановлений затвор системи автоматичного контролю тиску газу в камері, крім того радіаційний нагрівач підкладок виконаний регульованим відносно парціального тиску газу в вакуумній технологічній камері. |
