发明名称 |
一种MEMS传感器和MEMS麦克风 |
摘要 |
本实用新型公开了一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器。本实用新型提供的一种MEMS电容传感器,包括:基底、背极板、振膜、绝缘层和支撑层;所述振膜的外边缘上设有至少一个缺口,所述背极板上设有开槽,所述开槽与所述振膜的缺口处对应设置;所述背极板、振膜、支持层、绝缘层和基底相互配合,在每个缺口处的所述振膜下方形成用于泄气的泄气通道。本实用新型提供的技术方案能解决现有的MEMS振膜在突然受到大的气压冲击时如吹气,容易造成破损的问题。 |
申请公布号 |
CN204316746U |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201420741131.0 |
申请日期 |
2014.11.28 |
申请人 |
歌尔声学股份有限公司 |
发明人 |
蔡孟锦;邱冠勋;周宗燐;宋青林 |
分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京市隆安律师事务所 11323 |
代理人 |
权鲜枝;吴昊 |
主权项 |
一种MEMS电容传感器,包括:基底、背极板、振膜、绝缘层和支撑层;其特征在于,所述振膜的外边缘上设有至少一个缺口,所述背极板上设有开槽,所述开槽对应所述振膜的缺口处设置;所述背极板、振膜、支持层、绝缘层和基底相互配合,在每个缺口处的所述振膜下方形成用于泄气的泄气通道。 |
地址 |
261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号 |