半导体微量分析晶片及其制造的方法;SEMICONDUCTOR MICRO-ANALYSIS CHIP AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

摘要

实施例的其中一者系用于侦测样本液体中之粒子的半导体微量分析晶片。该晶片包括半导体基板；第一流动通道，设在该半导体基板上，以允许该样本液体在其中流动；第二流动通道，设在与该半导体基板的第一流动通道不同之位置，以允许该样本液体或电解质溶液在其中流动；接触部分，在此该第一流动通道的一部分和该第二流动通道之一部分彼此紧靠或与被配置于该等流动通道间之分隔部彼此相交；及细微孔，设在该接触部分的分隔部上，以允许该等粒子通过该处。