| 发明名称 |
微间距阵列探针卡制备方法及其产物;METHOD FOR PREPARING MICRO-PITCH-ARRAY PROBE CARD AND PRODUCTS THEREOF |
| 摘要 |
本发明提供一种微间距阵列探针卡制备方法，其方法步骤包含在一适当大小之基板上以感应耦合电浆钻孔，钻出每孔直径小于50μm之孔洞阵列，每一孔位的表面有一导角，基板完成钻孔后与探针组装做成探针头，再将探针头固定于一空间转换电路，将该等探针与空间转换电路进行电讯号连接制成微间距阵列探针卡。 |
| 申请公布号 |
TW201516415 |
申请公布日期 |
2015.05.01 |
| 申请号 |
TW102139650 |
申请日期 |
2013.10.31 |
| 申请人 |
国立台北科技大学 NATIONAL TAIPEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY |
发明人 |
黄荣堂 HUANG, JUNG TANG;谢昭平 HSIEH, CHAO PING |
| 分类号 |
G01R1/073(2006.01);G01R3/00(2006.01) |
主分类号 |
G01R1/073(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
江谢令涵 |
| 主权项 |
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| 地址 |
台北市大安区忠孝东路3段1号 TW |
