自矽泥中回收切割液的方法及其回收系统

主权项

一种自矽泥中回收切割液的方法，包括以下之步骤：将一晶圆切割制程之矽泥稀释成一混合溶液，所述混合溶液具有第一固含量；对所述混合溶液进行固液分离，以得到一液态混合物及一固态混合物，其中所述液态混合物具有第二固含量；添加一电解质于所述液态混合物中，待一预定时间后所述液态混合物即分离成不互溶的切割液相及水相；及将所述切割液取出。