发明名称 具多层薄膜结构之表面电浆共振检测系统
摘要
申请公布号 TWI481855 申请公布日期 2015.04.21
申请号 TW101126182 申请日期 2012.07.20
申请人 长庚大学 发明人 陈乃权;廖崇吉;吕俊亿;黄柏仁;柯文政
分类号 G01N21/55 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人 魏广炯 台中市西屯区台湾大道4段925号4楼之8
主权项 一种具多层薄膜结构之表面电浆共振检测系统,系包含有:一入射光源,该入射光源系为一入射线性偏极化光源;该入射光源系采用658nm波长之线性偏振(P极化)雷射光。一菱镜,该入射光源发出一入射光入射于该菱镜一侧面;一光侦测器,该菱镜另一侧面反射出一反射光,该光侦测器可侦测该反射光强度;一基板,该基板顶面贴附于该菱镜底面上;及一多层薄膜结构,该多层薄膜结构包括一上金属层、一介电层及一下金属层,于该基板底面形成该上金属层,在该上金属层上沉积该介电层,于该介电层上形成该下金属层,且该下金属层厚度可大于该上金属层之厚度,该下金属层贴合一待测物。
地址 桃园市龟山区文化一路259号