主权项 |
一种具多层薄膜结构之表面电浆共振检测系统,系包含有:一入射光源,该入射光源系为一入射线性偏极化光源;该入射光源系采用658nm波长之线性偏振(P极化)雷射光。一菱镜,该入射光源发出一入射光入射于该菱镜一侧面;一光侦测器,该菱镜另一侧面反射出一反射光,该光侦测器可侦测该反射光强度;一基板,该基板顶面贴附于该菱镜底面上;及一多层薄膜结构,该多层薄膜结构包括一上金属层、一介电层及一下金属层,于该基板底面形成该上金属层,在该上金属层上沉积该介电层,于该介电层上形成该下金属层,且该下金属层厚度可大于该上金属层之厚度,该下金属层贴合一待测物。
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