电感结构及其制作方法;INDUCTOR STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

一种电感结构包含基板、保护层、图案化的第一导电层、复数个铜块、阻隔层、扩散阻障层与抗氧化层。基板具有复数个焊垫。保护层位于基板与焊垫上。保护层具有复数个保护层开口。焊垫分别由保护层开口露出。第一导电层位于焊垫与保护层紧邻保护层开口的表面上。铜块位于第一导电层上。阻隔层位于保护层与铜块上。阻隔层具有至少一阻隔层开口，且铜块的至少一者由阻隔层开口露出。扩散阻障层位于露出阻隔层开口的铜块上。抗氧化层位于扩散阻障层上。