利用光栅实现物体成像的装置

摘要

一种利用光栅实现物体成像的装置，其构成包括光源、二维光栅、固定待测样品的载物台和衍射斑记录器，所述的光源发出的光依次经过二维光栅、待测样品和衍射斑记录器，所述的光源、二维光栅、待测样品和衍射斑记录器的位置关系应满足：所述的衍射斑记录器能同时记录N×N个子衍射光斑，其中N>=3，且相邻子光斑中心之间距大于每个子光斑的直径。本发明利用光栅结合现有的PIE算法实现成像的装置，能够实现成像质量不依赖平移台精度，只需要单次曝光就能够通过PIE算法进行成像。

主权项

一种利用光栅实现物体成像的装置，特征在于其构成包括光源(1)、二维光栅(2)、固定待测样品(3)的载物台(4)和衍射斑记录器(5)，所述的光源(1)发出的光依次经过二维光栅(2)、待测样品(3)和衍射斑记录器(5)，调整光源(1)、二维光栅(2)、待测样品(3)和衍射斑记录器(5)的位置，使所述的衍射斑记录器(5)同时记录N×N个子衍射斑，其中N>＝3，且相邻子光斑之间距大于每个光斑的直径；所述的二维光栅(2)为反射式光栅时，调整二维光栅(2)和载物台(4)的位置，使光源(1)发出的光通过二维光栅(2)反射的多个子照明光照射在待测样品(3)需要成像的区域，并且各个子照明光到达待测样品(3)时的分布满足PIE算法中扫描光分布的关系，即相邻两个子照明光中心之间有部分重叠；所述的二维光栅(2)为透射式光栅时，调整二维光栅(2)和载物台(4)的位置，使光源(1)发出的光通过二维光栅(2)透射的多个子照明光照射在待测样品(3)需要成像的区域，并且各个子照明光到达待测样品(3)时的分布满足PIE算法中扫描光分布的关系，即相邻两个子照明光中心之间有部分重叠。