| 主权项 |
一种电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：该微机电梳齿机构包括左移电磁执行器、右移电磁执行器、由左移定齿(103)和右移定齿(104)组成的定齿、动齿、两个第一锚区(112)和绝缘衬底(100)，其中，所述的左移电磁执行器与左移定齿(103)的一端连接，左移定齿(103)的另一端连接在第一锚区(112)上，右移电磁执行器与右移定齿(104)的一端连接，右移定齿(104)的另一端连接在第一锚区(112)上；所述的左移定齿(103)包括第一宽梁(107)、左移梳齿(108)、两个沿横向弯折的第一折叠梁(111)，左移梳齿(108)固定在第一宽梁(107)的一侧，第一宽梁(107)的一端与左移电磁执行器连接，第一宽梁(107)的另一端通过两个第一折叠梁(111)连接在两个第一锚区(112)上；左移定齿(103)处于悬空状态；所述的右移定齿(104)包括第二宽梁(109)、右移梳齿(110)、两个沿横向弯折的第二折叠梁(113)，右移梳齿(110)固定在第二宽梁(109)的一侧，第二宽梁(109)的一端与右移电磁执行器连接，第二宽梁(109)的另一端通过两个第二折叠梁(113)连接在两个第一锚区(112)上，且第二折叠梁(113)和第一折叠梁(111)在第一锚区(112)上相对；右移定齿(104)处于悬空状态；所述的两个第一锚区(112)固定连接在绝缘衬底(100)上；所述的动齿包括质量块(105)、动齿梳齿(106)、两个第二锚区(115)和两个沿纵向弯曲的第三折叠梁(114)，两个第二锚区(115)固定在绝缘衬底(100)上，每个第二锚区(115)与一个第三折叠梁(114)的一端连接，第三折叠梁(114)的另一端与质量块(105)连接，动齿梳齿(106)设置在质量块(105)的一侧，且右移梳齿(110)、动齿梳齿(106)和左移梳齿(108)依次交替布置，相邻的右移梳齿(110)和动齿梳齿(106)之间的距离等于相邻的动齿梳齿(106)和左移梳齿(108)之间的距离；质量块(105)、动齿梳齿(106)、和第三折叠梁(114)均处于悬空状态；所述的左移定齿(103)的第一宽梁(107)上设有左移止挡块(116)，右移定齿(104)的第二宽梁(109)上设有右移止挡块(117)，左移止挡块(116)和右移止挡块(117)相对，且左移止挡块(116)和右移止挡块(117)之间的距离小于相邻的右移梳齿(110)和动齿梳齿(106)之间设计距离的两倍。 |
