一种硅片扩散输送装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片扩散输送装置，属于光伏元件加工设备领域。该实用新型包括硅片放置板和石英舟，石英舟水平设置在硅片放置板一侧，硅片放置板一侧竖直设置有升降机构，升降机构一侧水平设置有平移机构，升降机构包括升降支架、升降电机、升降丝杆、升降导向杆和升降块，升降电机驱动升降丝杆，硅片放置板的一侧水平设置在平移套筒内，硅片放置板与平移套筒之间设置有固定螺栓，平移机构包括平移支架、平移电机、平移丝杆、平移导向杆和平移块，平移电机驱动平移丝杆，硅片放置板一侧分别设置有限位板和压紧机构。本实用新型结构简单，能够快速高效的将硅片输送进行高温扩散，提高了硅片加工效率，满足生产的需要。

主权项

一种硅片扩散输送装置，包括硅片放置板和石英舟，石英舟水平设置在硅片放置板一侧，其特征在于：所述硅片放置板一侧竖直设置有升降机构，升降机构一侧水平设置有平移机构；所述升降机构包括升降支架、升降电机、升降丝杆、升降导向杆和升降块，升降块水平设置在升降支架内，升降导向杆竖直穿过升降块，升降电机竖直向下设置在升降支架上侧，升降丝杆竖直穿过升降支架与升降块螺纹连接，升降电机驱动升降丝杆，升降块一侧水平设置有平移套筒，硅片放置板的一侧水平设置在平移套筒内，硅片放置板与平移套筒之间设置有固定螺栓；所述平移机构包括平移支架、平移电机、平移丝杆、平移导向杆和平移块，平移块水平设置在升降支架一侧，平移导向杆水平穿过平移块，平移电机水平设置在平移支架一侧，平移丝杆水平穿过平移支架与平移块螺纹连接，平移电机驱动平移丝杆；所述硅片放置板一侧分别设置有限位板和压紧机构，限位板设置在硅片放置板的一端，压紧机构设置在石英舟一侧的硅片放置板上侧。