| 摘要 |
【課題】ＳＣＥとして使用できる微小孔フィルタの製造方法を提供する。【解決手段】粒子径３〜６０μｍのステンレス鋼の粒子を、ジルコニアビーズを用いるビーズミルで処理し、扁平度０．０３〜０．４の粉末を調製する。粉末の表面に付着したジルコニアを酸洗により除去する。酸洗後の粉末０．５〜１．０ｇに１０〜１５ｋＮの荷重を付加して成形し、円筒状の成形体を得る。成形体を１０−３〜１０−５Ｐａの真空雰囲気下、１０００〜１３００℃の温度に１〜３時間保持して焼成し、焼結体を得る。焼結体をその外径に対し０．９０〜０．９９倍の内径を備える管に圧入して押し出し、微小孔フィルタを得る。【選択図】 図１ |
