压电振动子、压电振动子的制造方法、振荡器、电子机器及电波时钟

主权项

一种压电振动子，其特征系具备：压电振动片，其系具有：在平行配置的状态下，基端侧被固定于基部，前端侧形成有重叠金属膜之一对的振动腕部；基底基板，其系该压电振动片被安装于上面；盖体基板，其系以能够将所被安装的上述压电振动片收容于空腔内的方式接合于基底基板；调整膜，其系于平面视时，在邻接于上述一对的振动腕部的附近之状态下，以能够沿着该振动腕部的长度方向来从基端侧延伸至前端侧的方式形成于上述两基板的其中至少任一方，藉由加热来使上述空腔内的真空度提升，该调整膜系藉由上述加热来局部地蒸镀于邻接的上述振动腕部的侧面。