| 发明名称 | 光伏扩散工序中石英舟装载用装片机 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光伏扩散工序中石英舟装载用装片机，所述装片机包含有装片机架（1），所述装片机架（1）的工作台面上安装有花篮固定架（2），所述花篮固定架（2）内并排放置有两个花篮（3），且所述装片机架（1）的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架（4），该装片推进架（4）位于上述花篮固定架（2）旁，且装片推进架（4）靠近花篮固定架（2）的一侧竖向设置有导条（5），所述花篮（3）具有100个槽，且100个槽均匀布置。本实用新型一种光伏扩散工序中石英舟装载用装片机，效率高且碎片率低。 | ||
| 申请公布号 | CN204243017U | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201420652062.6 | 申请日期 | 2014.11.05 |
| 申请人 | 江阴方艾机器人有限公司 | 发明人 | 李长英;陈光;高玉良 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人 | 唐纫兰;陈强 |
| 主权项 | 一种光伏扩散工序中石英舟装载用装片机，其特征在于：所述装片机包含有装片机架（1），所述装片机架（1）的工作台面上安装有花篮固定架（2），所述花篮固定架（2）内并排放置有两个花篮（3），且所述装片机架（1）的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架（4），该装片推进架（4）位于上述花篮固定架（2）旁，且装片推进架（4）靠近花篮固定架（2）的一侧竖向设置有导条（5）。 | ||
| 地址 | 214442 江苏省无锡市江阴市临港经济开发区镇澄路588号 | ||