| 发明名称 | 一种二极管芯片酸洗工艺及设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种二极管芯片酸洗工艺，还涉及一种用于实现该酸洗工艺的设备，所述工艺依次为混合酸清洗、酸与双氧水清洗、氨水与双氧水清洗及水超声清洗，所述氨水与双氧水的混合清洗液为氨水、双氧水与纯水，所述氨水、双氧水与纯水的体积比为2:1:3～6，所述二极管芯片酸洗工艺的设备，包括在酸洗机上依次设置的混合酸清洗段、酸与双氧水清洗清洗段、氨水与双氧水清洗清洗段及水超声清洗段。本发明的优点在于：采用该浓度的氨水清洁芯片表面时，使得芯片表面的游离金属离子大大的减少，提高了二极管常温下电性能和高温电性能，且通过水超声清，解决了残留的氨水的清洗问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104475390A | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201410355331.7 | 申请日期 | 2014.07.24 |
| 申请人 | 如皋市易达电子有限责任公司 | 发明人 | 蔡彤;张练佳;贲海蛟;梅余锋 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人 | 滑春生 |
| 主权项 | 一种二极管芯片酸洗工艺，其特征在于：所述工艺依次为混合酸清洗、酸与双氧水清洗、氨水与双氧水清洗及水超声清洗，所述氨水与双氧水的混合清洗液为氨水、双氧水与纯水，所述氨水、双氧水与纯水的体积比为2:1:3～6。 | ||
| 地址 | 226500 江苏省南通市如皋市搬经镇群岸村7组 | ||