晶圆状物件之液体处理设备及用于该设备中之加热系统;APPARATUS FOR LIQUID TREATMENT OF WAFER SHAPED ARTICLES AND HEATING SYSTEM FOR USE IN SUCH APPARATUS

摘要

本发明揭露一种用于处理一圆盘状物件之设备，该设备包含一旋转夹盘和至少三个可独立控制之红外线加热元件。该等红外线加热元件相对于该旋转夹盘之旋转系以固定的方式安装。至少设置于该等加热元件及一晶圆之底面之间的透明平板系安装以与该旋转夹盘旋转。可替代地，该透明平板系为围绕该等红外线加热元件之外罩的一部分，且当该等加热元件相对于该旋转夹盘为静止时，该外罩与该旋转夹盘旋转。