一种直热式气敏传感元件制作工艺

摘要

本发明公开了一种直热式气敏传感元件制作工艺，涉及气敏传感元件领域。为了有效的降低直热式气敏传感元件生产的复杂性，本发明将二氧化锡和氧化锌按1:2混合在一起，再添加少量铝粉，加入一定量的氯化钾溶液，将铂电极和加热丝埋入后进行加温加压。本发明采用了二氧化锡和氧化锌的混合与铂电极进行直接烧结方式，降低了直热式气敏传感元件生产的复杂性，同时器件寿命长。

主权项

一种直热式气敏传感元件制作工艺，其特征在于：（1）、将二氧化锡和氧化锌按1:2混合在一起，用玻璃棒搅拌均匀后放入方盒中；（2）、向搅拌好的混合粉末添加少量铝粉；（3）、完成步骤（2）后，向方盒中加入一定量的氯化钾溶液；（4）、将铂电极和加热丝埋入方体的（3）中的混合物中，置于700~900度的温度中并加压2小时；即可完成直热式气敏传感元件的加工过程。