| 摘要 |
<p>Ein Messgerät (100), umfasst einen Halbleitersensor mit einem Sensorkörper (120) aus einem Halbleiterwerkstoff; und einen metallischen Stützkörper (131), welche über mindestens einen als Ausgleichskörper ausgebildeten Zwischenkörper (110) verbunden sind, welcher erste und zweite Endbereiche (111, 113), mit ersten und zweiten Werkstoffen und ersten bzw. zweiten effektiven Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, und einen Übergangsbereich (112) zwischen den Endbereichen (111, 113) umfasst, in dem sich der effektive Wärmeausdehnungskoeffizient von dem ersten zum zweiten effektiven Wärmeausdehnungskoeffizienten ändert, wobei der Übergangsbereich eine Folge von Schichten mit einer Mischung mindestens des ersten Werkstoffs und des zweiten Werkstoffs aufweist, wobei das Mischungsverhältnis der Schichten variiert, um eine schrittweise, Veränderung des Wärmeausdehnungskoeffizienten zu erzielen, wobei der erste Endbereich (111) des Ausgleichskörpers dem Sensorkörper (110) und der zweite Endbereich (113; 213) des Ausgleichskörpers dem Stützkörper (131) zugewandt ist, wobei die effektive Wärmeausdehnungskoeffizienten der Endbereiche von denen der angrenzenden Körper um nicht mehr als 2 ppm/K abweichen.</p> |
