发明名称 |
Method for fabricating an optical filter in an integrated circuit, and corresponding integrated circuit |
摘要 |
<p>Procédé de réalisation d'un filtre optique au sein d'un circuit intégré comportant un substrat et une partie d'interconnexion (ITC) au dessus du substrat, et circuit intégré correspondant. La réalisation du filtre comprend une formation au-dessus d'une zone photosensible (ZP) située dans le substrat d'au moins une couche de filtre (CF), le produit entre l'épaisseur de la couche de filtre et la partie imaginaire de l'indice de réfraction de la couche de filtre étant supérieur à 1, ladite au moins une couche de filtre étant située entre le substrat et la partie d'interconnexion (ITC).</p> |
申请公布号 |
EP2851955(A1) |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
EP20140184877 |
申请日期 |
2014.09.16 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS SA;STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
MARTY, MICHEL;JOUAN, SEBASTIEN;FREY, LAURENT |
分类号 |
H01L27/146 |
主分类号 |
H01L27/146 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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