检测装置

摘要

本发明在此揭示一种检测装置，晶片表面在一方向中连续形成拥有延伸条纹状的多个锯痕。该装置包括：一传输单元，其于一方向为连续及水平传送晶片；一相机，其配置在晶片的传送路径，及拍摄由该传输单元传送的晶片；一照明单元，其配置相对于该相机，且提供光给晶片以拍摄晶片；及一棱镜片，其位于该相机与该照明单元之间。在此，该棱镜片是于一方向拥有延伸条纹状的多个不平坦图案的表面上形成。

主权项

一种检测装置，用于检测一晶片(W)，所述晶片(W)通过一钻石线锯处理切割且于一表面上具有沿一方向延伸的条纹状的多个连续锯痕(SM)，其特征在于，包括：一传输单元(10)，在一方向中连续及水平传送所述晶片(W)；一相机(20)，其配置在所述晶片(W)的一传送路径，及拍摄由所述传输单元(10)传送的所述晶片(W)；一照明单元(30)，其相对于所述相机(20)设置，且提供光给所述晶片(W)以拍摄所述晶片(W)；一棱镜片(40)，其位于所述晶片(W)与所述照明单元(30)之间，所述棱镜片(40)于一表面上连续形成有多个沿所述晶片(W)传输的方向延伸的条纹状以形成多个不平坦图案(41)，其中每一不平坦图案(41)通过折射改变自所述照明单元(30)发出的光的行进方向以避免所述锯痕(SM)引起的波纹现象；其中当所述传输单元(10)传送所述晶片(W)经过所述相机(20)下方时，所述相机(20)通过线条扫描方法拍摄所述晶片(W)的整个影像，其中在所述传输单元(10)上传送晶片(W)的一些区域为持续性拍摄，且所述照明单元(30)的一出光面上设置有一半球形透镜。