複数部分構成の直線状のイオン化バーおよびイオン化セル

摘要

少なくとも４つの部材を有する複数部分構成の直線状のイオン化バー（１０）が開示される。第１に、開示のバーは、長手方向に沿ってイオン雲（２２）を形成する少なくとも１つの軸方向に延びる直線状のイオンエミッター（２０）を有する少なくとも１つのイオン化セル（１６）を備えることができる。第２に、開示のバー（１０）は、少なくとも１つの基準電極（３２ａ、３２ｂ）を備えることができる。第３に、開示のバー（１０）は、供給源からガスまたは空気を受け入れ、該ガス／空気がイオン雲（２２）内へ実質的に流入することなく、直線状のエミッター（２０）を通過させて、ガスまたは空気を放出するマニフォールド（２４）を備えることができる。第４に、開示のバー（１０）はイオン化電圧を受け、該イオン化電圧を直線状のエミッター（２２）に出力し、それによってイオン雲を形成する手段（２０ａ、２０ｂ）を含むことができる。こうして、開示のイオン化バー（１０）は、直線状のエミッターの実質的な振動を誘起することなく、かつ、直線状のエミッターに達するガス／空気フローからの実質的な汚染物を伴うことなく、イオンをプラズマ領域から電荷中和ターゲットに向かって輸送することができる。