仮固定用接着剤組成物

摘要

本発明は、シリコンブロックからシリコンウエハを加工するに際して、シリコンウエハのチッピングを抑制するのに好適なアクリル系仮固定用接着剤組成物の提供することを目的とし、（１）（メタ）アクリロイル基を有するモノマー、（２）重合開始剤、（３）&bgr;−ジケトンキレート及び／又は&bgr;−ケトエステル、（４）無機フィラーを含有してなる仮固定用接着剤組成物である。