| 发明名称 |
液晶显示器之阵列基板及其之制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI475643 |
申请公布日期 |
2015.03.01 |
| 申请号 |
TW100106939 |
申请日期 |
2011.03.02 |
| 申请人 |
三星显示器有限公司 |
发明人 |
申英澈 |
| 分类号 |
H01L21/77;H01L21/336;H01L29/786;G02F1/1368 |
主分类号 |
H01L21/77 |
| 代理机构 |
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代理人 |
李国光 新北市中和区中正路928号5楼;张仲谦 新北市中和区中正路928号5楼 |
| 主权项 |
一种液晶显示器之阵列基板的制造方法，其包括：形成闸极于基板的第一区域上，其中基板分成第一和第二区域；形成下储存电极于基板的第二区域上，该下储存电极包括透明导电材料；以及形成闸极绝缘层于基板上，其中该闸极绝缘层覆盖该下储存电极；其中闸极绝缘层包括第一、第二、第三闸极绝缘次层；其中第一、第二、第三闸极绝缘次层是由相同的材料而于沉积过程期间应用不同的沉积速率和气体流率所形成。 |
| 地址 |
南韩 |
