微影装置及可移除元件

主权项

一种经配置以将一图案自一图案化器件转印(transfer)至一物件上之微影装置，其包含：具有复数个瘤节的一瘤节板，该复数个瘤节经配置成支撑该物件的下表面；一调节系统，用于热调节该物件；及一元件，其位于该瘤节板的该复数个瘤节之间且经配置用以改良至/自该物件之热转移。