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经营范围
发明名称
研磨物品及形成方法
摘要
申请公布号
TWI474889
申请公布日期
2015.03.01
申请号
TW102123067
申请日期
2013.06.27
申请人
圣高拜磨料有限公司;圣高拜磨料公司
发明人
雷里格 保罗 W;田应刚;哲 威;考恩德 阿鲁浦 K;普森纳加迪 汤马士;亚可纳 克里斯多夫;拉玛纳斯 斯里尼瓦桑
分类号
B23P5/00;H01L21/304
主分类号
B23P5/00
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
一种研磨物品,其包括:一衬底;一覆盖该衬底的粘合层;一覆盖该粘合层的第一类型的磨料颗粒;一覆盖该粘合层的第二类型的磨料颗粒,该第二类型的磨料颗粒不同于该第一类型的磨料颗粒;以及一粘结层,该粘结层覆盖该第一类型的磨料颗粒和该第二类型的磨料颗粒以及该粘合层之一的至少一部分,其中该粘合层包含该第一类型和第二类型的磨料颗粒的总平均粒度的平均粒度的至少约11%并且不大于约80%的平均厚度。
地址
法国
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