多级灵敏度输出的微机电系统麦克风装置以及其电路;MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE DEVICE WITH MULTI-SENSITIVITY OUTPUTS AND CIRCUIT THEREOF

摘要

一种MEMS装置包含具有空腔的衬底。介电层设置在所述衬底的第二侧上在所述空腔的周边。背板结构与所述介电层一起形成在所述衬底的第一侧上且通过所述空腔暴露。所述背板结构包含至少第一背板以及第二背板。所述第一背板与所述第二背板电性断开且具有用以连接所述空腔与腔室的通风孔。振膜设置在所述背板结构上方相隔一距离，以便在所述背板结构与所述振膜之间形成腔室。所述振膜的周边嵌入在所述介电层中。所述振膜充当共同电极。所述第一背板以及所述第二背板分别充当第一电极单元以及第二电极单元以与所述振膜协力形成独立的两个电容器。