具有多重整粒组合的蓝宝石抛光垫修整器

摘要

一种具有多重修整粒组合的蓝宝石抛光垫修整器，其结构包含：一具有特定轴向的蓝宝石晶圆，该特定轴向为a轴、c轴、r轴、m轴、n轴以及v轴的其中之一；多颗修整粒及多个刮刀部，该多个刮刀部是以预定的几何排列方式形成于该蓝宝石晶圆的至少一面，且该多颗修整粒分布于该多个刮刀部之间；其中，藉由该修整粒对一抛光垫的表面进行修整，以使该抛光垫的表面经过修整后产生新的孔洞及纤毛结构，同时移除该抛光垫表面上散布的不具有研磨效果的微粒，藉此维持该抛光垫的研磨效率。

主权项

一种具有多重修整粒组合的蓝宝石抛光垫修整器，其特征在于，该结构包含：一具有特定轴向的蓝宝石晶圆，该特定轴向为a轴、c轴、r轴、m轴、n轴以及v轴的其中之一；多颗修整粒及多个刮刀部，该多个刮刀部是以预定的几何排列方式形成于该蓝宝石晶圆的至少一面，且该多颗修整粒分布于该多个刮刀部之间。