发明名称 |
処理指示装置、処理指示方法、コンピュータプログラム及び処理装置 |
摘要 |
被処理体に対する処理効率を向上させることができる処理指示装置を提供する。被処理体を処理する複数の処理装置(2)との間で情報を通信する第1通信手段と、複数の処理装置(2)に被処理体を搬送する搬送装置(32)の動作を制御する搬送制御装置(31)との間で情報を通信する第2通信手段と、該第2通信手段にて受信した情報に基づいて、前記搬送装置(32)が前記一の処理装置(2)に到着する時点を予測する到着時点予測手段と、前記第1通信手段により前記一の処理装置(2)における被処理体への処理が終了したことを示す情報を受信する、又は受信した情報に基づいて前記一の処理装置(2)における被処理体への処理が終了する時点を予測する終了時点予測手段と、予測された各時点に基づいて、装置状態健全化処理の実行を指示する処理制御情報を前記一の処理装置(2)へ送信させる処理指示手段とを処理指示装置に備える。 |
申请公布号 |
JPWO2013011920(A1) |
申请公布日期 |
2015.02.23 |
申请号 |
JP20130524695 |
申请日期 |
2012.07.12 |
申请人 |
東京エレクトロン株式会社 |
发明人 |
浅川 輝雄;山口 博史;真白 すぴか;飯島 俊彦;成澤 弘和;藤村 浩 |
分类号 |
H01L21/02;G05B19/418;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|