| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren zum SRAF-Drucken unter Verwendung eines ätzberücksichtigenden SRAF-Druckvermeidungs-Engines und die sich ergebende Vorrichtung bereitgestellt. Ausführungsformen umfassen ein Durchführen von Maske-zu-Lack-Simulationen für eine Maske mit einer Mehrzahl von Merkmalen, die auf einem Substrat zu bilden sind, und einer Mehrzahl von Subauflösungshilfsmerkmalen (SRAFs); ein Erfassen von SRAFs der Mehrzahl, die auf einen Lack durchgedruckt werden; Überprüfen der Dimensionen der erfassten SRAFs, um zu bestimmen, ob ein oder mehrere der SRAFs auf das Substrat durch geätzt werden; Modifizieren des einen oder der mehreren der SRAFs; und Bilden der Maske, nachdem das eine oder die mehreren der SRAFs modifiziert wurden.</p> |
