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发明名称 超低曝光后烘烤光阻材料
摘要
申请公布号 TWI472539 申请公布日期 2015.02.11
申请号 TW099104974 申请日期 2010.02.22
申请人 万国商业机器公司 发明人 高登法柏　丹罗　雷纳多;寇嘉斯特　马默德;法拉那西　普许卡拉Ｒ
分类号 C08F220/26;C08F220/28;C08F220/18;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/40 主分类号 C08F220/26
代理机构 代理人 李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼Ａ区
主权项 一种聚合物，包含：具有下列结构式之第一单体
地址 美国
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