主权项 |
一种用于一积体电路(IC)装置的互连结构,该结构包含:一长条形导电线路,包含按一第一宽度w1形成的一或多个区段及按一或多个额外宽度w2...wN形成的一或多个区段,其中该第一宽度比该一或多个额外宽度中的每一个窄;其中按该第一宽度形成之该一或多个导电区段的总长度L1与按该一或多个额外宽度形成之该一或多个导电区段之总长度L2...LN的关系系选择为使得针对该导电线路所载送的一给定电流量值,维持相对于一电迁移短长度效应效益的一临界长度,其中LC代表针对该给定的电流量值完全按该第一宽度w1形成之一等效互连结构的该临界长度,及其中在按该第一宽度形成之该一或多个区段之该总长度L1、按该一或多个额外宽度形成之该一或多个区段的该总长度L2...LN、及LC间之关系如以下所示:其中N是该结构中不同宽度的数量,其中该导电线路的该总长度L系选择以补偿宽度效应,其中一临限长度乘积(jL)th随着增加的宽度减少,j代表电流密度,使得一校正项A(w,t)=Lth/Lmax是考虑该宽度效应的一校正项,该校正项相依于一给定区段的该宽度w及一厚度t,其中Lmax代表一最大临界长度及Lth是显示宽度效应之一区段的该实际临界长度,及其中按该第一宽度形成之该一或多个区段的该总长度L1、按该
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