| 摘要 |
イオンを発生させるためのイオン源と、イオンを受け取るための入口開口およびイオンを真空チャンバから通過させるための出口開口を有する真空チャンバとを含む方法および装置が提供される。少なくとも１つのイオンガイドが、入口と出口開口との間に提供され、少なくとも１つのイオンガイドは、入口端および出口端を有する。少なくとも１つのイオンガイドは、内側シリンダおよび外側シリンダを有する。内側シリンダは、複数の区画を有し、各区画は、異なる数のスロットを有し、内側シリンダは、外側シリンダ内に同軸に配置され、内側シリンダは、２つ以上の多重極場を発生させるように構成されている。外側シリンダと内側シリンダとの間にＲＦ電圧を提供するために、電力供給源が、提供される。 |
