一种膜层去除装置

摘要

本发明实施例提供了一种膜层去除装置，涉及显示器件的制备领域，可实现对膜层任意区域的精密去除，满足工艺生产中的不同需求，节约成本并提高生产效率。该膜层去除装置包括：去除单元；驱动所述去除单元移动的驱动单元；控制所述驱动单元的控制单元；其中，所述去除单元包括：腔体；所述腔体包括一开口区域；设置在所述腔体开口区域、且平行于膜层表面的可旋转的去除体；设置在所述腔体内部、且向所述去除体注入去除液的注入管；设置在所述腔体内部的抽气组件；所述抽气组件的抽气管指向所述去除体。用于可实现对膜层任意区域的精密去除的膜层去除装置的制备。

主权项

一种膜层去除装置，其特征在于，包括：去除单元；驱动所述去除单元移动的驱动单元；控制所述驱动单元的控制单元；其中，所述去除单元包括：腔体；所述腔体包括一开口区域；设置在所述腔体开口区域、且平行于膜层表面的可旋转的去除体；设置在所述腔体内部、且向所述去除体注入去除液的注入管；设置在所述腔体内部的抽气组件；所述抽气组件的抽气管指向所述去除体。