氢气浓度和温度一体化测量传感器探头的制备方法

摘要

本发明是氢气浓度和温度一体化测量传感器探头制备方法，利用Pt表面修饰掺杂WO₃氢气敏感材料与传感光栅结合制备氢气传感器探头；利用不含催化剂掺杂WO₃与参考光栅结合制备温度传感器探头，并对传感光栅进行温度补偿。该发明利用Pt表面修饰WO₃作为氢气敏感材料，通过在WO₃中进行掺杂SiO₂改性，增强了氢气敏感材料的使用寿命；利用SiO₂槽作为氢气敏感材料的载体，可以有效防止氢气敏感材料的脱落。在传感光栅和参考光栅外套毛细管进一步保护，并且传感光栅和参考光栅固定在SiO₂基板上，保证光栅温度系数的线性度，能够同时测量氢气浓度和环境温度。同时设计了传感探头的一体化封装结构，确保了传感探头的可靠性和稳定性，该发明具有重要应用价值。

主权项

一种氢气浓度和温度一体化测量传感器探头，其特征是由氢气传感器探头和温度传感器探头通过一体化封装而成，其中：氢气传感器探头是利用Pt表面修饰掺杂WO₃氢气敏感材料与传感光栅结合而成，SiO₂槽作为氢气敏感材料载体；温度传感器探头是利用不含催化剂掺杂WO₃与参考光栅结合而成，并对传感光栅进行温度补偿。