检测磷化氢气体纯度的方法和装置

摘要

一种检测磷化氢气体纯度的方法，先将采气袋和双排管路系统抽成真空，缓慢将磷化氢气体经由双排管输入采气袋中；然后，以氮气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氢气的峰面积值S_H2，以及氢气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氮气的峰面积值S_N2；最后计算磷化氢的体积百分含量ω_PH3。本发明检测磷化氢气体纯度的方法，解决了高纯度(60v/v％以上，尤其是90v/v％以上)磷化氢气体浓度的确定，提高检测准确性和可靠性的同时，还提高了检测操作的安全性和便捷性。

主权项

一种检测磷化氢气体纯度的方法，其特征在于包括：先将采气袋和双排管路系统抽成真空，缓慢将磷化氢气体经由所述双排管路系统输入采气袋中；然后，以氮气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氢气的峰面积值S_H2，以及氢气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氮气的峰面积值S_N2；计算待检测磷化氢气体中氢气和氮气的体积百分含量ω_H2和ω_N2，其中ω_H2＝S_H2×f_H2，ω_N2＝S_N2×f_N2；计算磷化氢的体积百分含量ω_PH3，ω_PH3＝100％‑ω_H2‑ω_N2；所述的f_H2为氢气的校正因子，是以氮气作载气，采用热导检测器测定氢气和氮气标准混合气中体积百分比为ω_标H2的氢气的峰面积值S_标H2，而计算得出，f_H2＝ω_标H2/S_标H2；所述的f_N2为氮气的校正因子，是以氢气作载气，采用热导检测器测定氢气和氮气标准混合气中体积百分比为ω_标N2的氮气的峰面积值S_标N2，而计算得出f_N2＝ω_标N2/S_标N2。