一种压气机叶片涂层的表面改性设备

摘要

本实用新型公开一种压气机叶片涂层的表面改性设备，用于对叶片进行覆膜，包括真空腔室、氮气源、第一弧源、第二弧源、考夫曼离子源和MEVVA离子源。叶片设置于真空腔室内，第一弧源、第二弧源、MEVVA离子源、考夫曼离子源以及氮气源分别连接于真空腔室上。第一弧源采用铬铝合金靶，第二弧源采用钽靶，MEVVA离子源采用铬阴极，考夫曼离子源对叶片表面进行清洗，MEVVA离子源、第一弧源、第二弧源和氮气源对叶片表面进行反复镀膜。本实用新型通过采用阴极磁过滤和等离子体增强技术，改善了叶片复杂结构膜层沉积均匀性差的问题，同时采用新型的掺杂Al的Ta-Cr-N纳米多层膜提高叶片表面的耐高温腐蚀和冲蚀能力。

主权项

一种压气机叶片涂层的表面改性设备，对一叶片进行覆膜，其特征在于，包括：氮气源；真空腔室，所述氮气源连接于所述真空腔室外，所述叶片设置于所述真空腔室内，所述真空腔室包括侧壁和底壁和顶壁；第一弧源，连接于所述侧壁上；第二弧源，连接于所述侧壁上；MEVVA离子源，连接于所述侧壁上；以及考夫曼离子源，连接于所述底壁上；其中，所述第一弧源采用铬铝合金靶，所述第二弧源采用钽靶，所述MEVVA离子源采用铬阴极，所述考夫曼离子源对所述叶片表面进行清洗，所述MEVVA离子源、所述第一弧源、所述第二弧源和所述氮气源对所述叶片表面进行反复镀膜。