发明名称 影像感测器及其制造方法
摘要 一种影像感测器,其包含一形成在一基板中的一第一导电类型的磊晶层、一形成在该磊晶层中的光电二极体、以及一形成在该光电二极体的下面的一第二导电类型的第一掺杂区域以分离该第一掺杂区域与该光电二极体。
申请公布号 TWI470779 申请公布日期 2015.01.21
申请号 TW101146681 申请日期 2008.07.23
申请人 智慧投资II有限责任公司 美国 发明人 林延燮
分类号 H01L27/146;H01L21/76;H04N5/335 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种影像感测器的制造方法,包含:形成一位于一磊晶层中的第一掺杂区域;及形成一第二掺杂区域,且该第二掺杂区域是位于该磊晶层中以备制作一光电二极体;其中,该第一掺杂区域位于该第二掺杂区域下方并与该第二掺杂区域分隔设置;该磊晶层具有一第一导电类型;该第一掺杂区域与该第二掺杂区域则具有一第二导电类型;且该第一掺杂区域的掺杂浓度低于该第二掺杂区域的掺杂浓度。
地址 美国