基于结构光方法的微观光滑自由曲面样品测量装置和方法

摘要

基于结构光方法的微观光滑自由曲面样品测量装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、二向色镜、物镜、样品、滤光片、第二管镜、制冷CCD和载物台；利用激光器经过准直镜出射的平行光，再经过一维正弦光栅得到经过调制的条纹，将条纹经过二向色镜、管镜和物镜成像到表面镀膜的光滑自由曲面样品上；使样品表面出射的信号通过滤光片，由制冷CCD收集；对每个被测平面，令正弦光栅横向移动三次，完成一个平面的探测后，载物台沿轴向移动，令CCD下一次拍采集；最后将每个轴向位置得到的二维数据进行解调运算；本发明装置与方法测量微观光滑自由曲面，可以测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。

主权项

基于结构光方法的微观光滑自由曲面样品测量装置，其特征在于，包括：照明装置和成像装置；所述的照明装置按照光线传播方向依次为：与样品表面镀膜荧光物质波长相匹配的激光光源(1)、准直镜(2)、正弦光栅(3)、透镜(4)、第一管镜(5)、二向色镜(6)、物镜(7)、样品(8)和载物台(12)；所述的成像装置按照光线传播方向依次为：物镜(7)、二向色镜(6)、滤光片(9)、第二管镜(10)和制冷CCD(11)；照明装置和成像装置共用物镜(7)和二向色镜(6)；正弦光栅(3)、样品(8)和制冷CCD(11)两两共轭。