用于测量平台之混合震动隔离系统;HYBRID VIBRATION ISOLATION SYSTEMS FOR METROLOGY PLATFORMS

摘要

本发明揭示测量工具，其包括主动震动隔离器件及被动震动隔离器件两者。测量工具可包括组合在该测量工具之不同支撑结构中以阻尼及减少一广泛频率及强度范围中之震动之被动震动隔离系统或主动隔离系统，诸如拘束层阻尼器、颗粒冲击阻尼器或液体冲击阻尼器及/或消音转换器。可应用频率范围之频谱分析及最佳化以根据提供之原理判定特定工具组态。