发明名称 PROCEDE DE LOCALISATION DE DISPOSITIFS
摘要 L'invention concerne procédé de localisation de dispositifs, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : a) Fournir un substrat support (10) comprenant : - Une couche de dispositifs (40) ; - Des motifs d'alignement (50) ; b) Fournir un substrat donneur (60) ; c) Former une zone de fragilisation (70) dans le substrat donneur (60), la zone de fragilisation (70) délimitant une couche utile (80) ; d) Assembler le substrat donneur (60) et le substrat support (10) ; e) Fracturer le substrat donneur (60) selon la zone de fragilisation (70) de sorte à transférer la couche utile (80) sur la couche de dispositifs (40) ; Ledit procédé étant caractérisé en ce que les motifs d'alignement (50) sont disposés dans des cavités (90) formées dans la couche de dispositifs (40), lesdites cavités (90) présentant une ouverture affleurant la surface libre de la couche de dispositifs (40).
申请公布号 FR3008543(A1) 申请公布日期 2015.01.16
申请号 FR20130001697 申请日期 2013.07.15
申请人 SOITEC 发明人 BROEKAART MARCEL;RADU IONUT;LAGAHE BLANCHARD CHRYSTELLE
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/301;H01L21/324;H01L21/76 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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