发明名称 |
銀ナノワイヤーを含むマトリックスの選択的エッチング |
摘要 |
本発明は、可撓性のプラスチック基礎構造または硬いガラスシート上のAgNW(銀ナノワイヤー)またはCNT(カーボンナノチューブ)を含むか、またはAgNWとCNTとの混合物を含むポリマーマトリックスを選択的に構造化する方法に関する。本方法は、大量生産において該方法が進行することを可能にする好適なエッチング組成物を含有する。 |
申请公布号 |
JP2015501541(A) |
申请公布日期 |
2015.01.15 |
申请号 |
JP20140537509 |
申请日期 |
2012.09.28 |
申请人 |
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发明人 |
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分类号 |
H01L21/306;C23F1/30;H01L21/308;H01L31/0224;H01L51/46 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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