一种利用等离子去除锂电池电极片铝屑的处理工艺及装置

摘要

本发明公开了一种利用等离子去除锂电池电极片铝屑的处理工艺及装置，该处理工艺包括：a、将分切好的锂电池电极片竖直放置在一密封的刻蚀腔体内的转盘上；b、通过抽气装置将刻蚀腔体抽至真空状态；c、通过气体进口向刻蚀腔体内通入刻蚀气体，由射频源将通入的刻蚀气体激发成等离子体来对锂电池电极片的分切断面进行刻蚀；d、通过抽气装置将刻蚀掉的物质吸走并排放掉，然后从通入氧气。本发明通过射频源对刻蚀气体进行激活成等离子体，利用等离子体对锂离子电极片的分切断面上的铝屑进行刻蚀处理，产生的等离子体在电极片的负偏压电源作用下，高速轰击锂离子电极片的边缘并产生刻蚀效果，来达到去除电极片边缘铝屑的目的。

主权项

一种利用等离子去除锂电池电极片铝屑的处理工艺，其特征在于：所述处理工艺包括如下步骤a、将分切好的锂电池电极片竖直放置在一密封的刻蚀腔体内，所述刻蚀腔体的一端设置有激发电极，所述激发电极与射频源连接，所述刻蚀腔体的该端上还设置有一气体进口；b、使所述刻蚀腔体与一抽气装置连接，通过抽气装置将刻蚀腔体抽至真空状态；c、通过气体进口向刻蚀腔体内通入刻蚀气体，同时开启所述射频源，激发电极将通入的刻蚀气体激发成等离子体，等离子体对锂电池电极片的分切断面进行刻蚀，将分切断面上的保护膜及沾边的铝屑刻蚀掉；d、开启抽气装置，将刻蚀掉的物质吸走并排放到刻蚀腔体外部，然后从气体进口内通入氧气，并通过射频源将氧气激发成氧离子，使氧离子快速将锂电池电极片裸露在外的铝氧化掉，形成三氧化铝保护膜。