摘要 |
Vakuumpumpe insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer Rotorwelle (10) verbundenen Rotorelementen (20, 22), mindestens einer mit einem Rotorelement (20, 22) zusammenwirkenden Statoreinrichtung (24, 26), einer die Rotorwelle (10) antreibenden elektrischen Antriebseinrichtung (30), die Rotorwelle (10) tragenden Lagern (32) und einem mehrere Gehäuseteile (14, 28, 34) aufweisenden Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass wärmeempfindliche Bauteile (32) mit einem ersten Gehäuseteil (34) und stark wärmeerzeugende Bauteile (30, 24, 26) mit einem zweiten Gehäuseteil (28) verbunden sind. |