一种制备高方阻电池片的减压扩散工艺

摘要

本发明公开了一种减压扩散工艺，它包括恒温降压过程、前氧化过程、升温过程、深扩散过程、磷推进过程、后氧化处理和降温升压过程。相对于常压扩散工艺，本发明的减压扩散工艺引入扩散过程中压力这个变量，降低扩散炉管内压力，同时调节温度、时间、气流量来使扩散方块电阻均匀性更好，所制备的电池片光电转换效率更高，同时提高设备单位时间的产量与节省扩散磷源的用量。

主权项

一种制备高方阻电池片的减压扩散工艺，其特征是，将制绒后的硅片插入扩散炉的石英舟中，然后依次进行以下步骤：(1)恒温降压过程：将温度控制在800℃‑820℃之间，通入1000sccm‑5000sccm大氮，将扩散炉管内压力降低至5千至6万帕，恒温降压过程的时间为300s‑900s；(2)前氧化过程：将温度控制在800℃‑820℃之间，通入1000scc‑5000sccm大氮，300scc‑1500sccm干氧，将扩散炉管内压力保持在5千至6万帕之间，前氧化过程的时间为300s‑900s；(3)扩散过程：将温度保持在800℃‑820℃之间，通入1000sccm‑5000sccm大氮，300sccm‑1500sccm干氧与500sccm‑1500sccm小氮，将扩散炉管内压力保持在5千至6万帕之间，扩散时间为300s‑600s；(4)升温过程：将温度升高至830℃‑850℃，通入1000sccm‑5000sccm大氮，将扩散炉管内压力保持在5千至6万帕之间，升温过程的时间为200s‑600s；(5)深扩散过程：将温度保持在830℃‑850℃之间，通入1000sccm‑5000sccm大氮，300sccm‑1500sccm干氧与500sccm‑1500sccm小氮，将扩散炉管内压力保持在5千至6万帕之间，深扩散过程的时间为300s‑600s；(6)磷推进过程：将温度保持在830℃‑850℃之间，通入1000sccm‑5000sccm大氮，将扩散炉管内压力保持在5千至6万帕之间，磷推进过程的时间为300s‑600s；(7)后氧化处理：将温度保持在830℃‑850℃之间，通入1000sccm‑5000sccm大氮，300sccm‑1500sccm干氧，将扩散炉管内压力保持在5千至6万帕之间，后氧化时间为300s‑1000s；(8)降温升压过程，将温度降低至650‑720℃，通入1000‑20000sccm大氮，将扩散炉管内压力升高至大气压，降温升压过程的时间为900‑1800s。