| 发明名称 | 一种集成式拉晶炉 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，名称是一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是：所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置，所述的多个拉晶炉炉体在架子上上下设置，所述的摇摆动力装置在架子的上方或下方；或者，所述的多个拉晶炉炉体在架子上左右平行设置，所述的摇摆动力装置在架子一侧设置，多个拉晶炉炉体用连接杆连接，连接杆连接摇摆动力装置，这样的集成式拉晶炉具有生产效率高、占用空间小的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN204080177U | 申请公布日期 | 2015.01.07 |
| 申请号 | CN201420566763.8 | 申请日期 | 2014.09.22 |
| 申请人 | 河南鸿昌电子有限公司 | 发明人 | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;钱俊有;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是：所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置。 | ||
| 地址 | 461500 河南省许昌市长葛市魏武大道河南鸿昌电子有限公司 | ||