一种多晶硅生产中的余热回收装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产中的余热回收装置，包括：保温罩，其呈钟罩型，底部是敞开的，内部是中空的，保温罩的壳体壁由内层壳体和外层壳体构成，下边缘焊接在一起，从而在外层壳体与内层壳体之间形成一进气腔，外层壳体上开设有与进气腔连通的若干第一进气口；第一进气环，内侧壁向内伸出若干第一进气接头，各第一进气接头连接至一个第一进气口；第一进气管，其一端连接至第一进气环，另一端连接至多晶硅生产反应器的排气口。使用时，将保温罩罩在多晶硅生产的反应器上，再将第一进气管连接至反应器的排气口上，将高温气体导入至保温罩的进气腔内，从而对反应器起到保温作用，保证多晶硅生产的稳定进行，充分利用多晶硅生产中的余热。

主权项

一种多晶硅生产中的余热回收装置，其特征在于，包括：保温罩，其呈钟罩型，底部是敞开的，内部是中空的，所述保温罩的壳体壁由内层壳体和外层壳体构成，所述外层壳体包覆在所述内层壳体的外侧，所述外层壳体和所述内层壳体的下边缘焊接在一起，从而在所述外层壳体与所述内层壳体之间形成一进气腔，所述外层壳体上开设有与所述进气腔连通的若干第一进气口，若干第一进气口均位于所述外层壳体的下部且分布在一个圆周上，所述外层壳体的顶部开设有出气口；第一进气环，其内部中空，套设在所述保温罩的外侧，所述第一进气环的内侧壁向内伸出若干的第一进气接头，各第一进气接头连接至一个第一进气口；第一进气管，其一端连接至所述第一进气环，另一端连接至多晶硅生产反应器的排气口，所述第一进气管上设置有第一阀门；其中，在所述保温罩上设置有贯通所述保温罩的多个孔道，各孔道通过孔道壁与所述进气腔相隔离，所述出气口上设置有第三阀门。