四极透镜、操控离子束的系统与方法

摘要

一种用于操控具有主轴之离子束的系统，其包含具有第一线圈以及第二线圈之上部部件，所述线圈大体配置于所述上部部件之不同区域中且经组态以独立于彼此而分别传导第一电流以及第二电流。下部部件包含第三线圈以及第四线圈，所述线圈大体配置成与各别第一线圈以及第二线圈相对且经组态以独立于彼此而分别传导第三电流以及第四电流。透镜间隙界定于所述上部部件与所述下部部件之间，且经组态以传输所述离子束，其中所述第一电流至所述第四电流产生45度四极场，所述四极场围绕所述离子束的主轴在所述离子束上施加旋转力。

主权项

一种四极透镜，其用于操控具有主轴之离子束，其包括：上部部件，其具有第一线圈以及第二线圈，所述第一线圈以及所述第二线圈配置于所述上部部件之不同区域中；下部部件，其具有第三线圈以及第四线圈，所述第三线圈以及所述第四线圈配置成与各别所述第一线圈以及所述第二线圈相对；以及透镜间隙，其界定于所述上部部件与所述下部部件之间，且经组态以传输所述离子束，其中所述第一线圈至所述第四线圈经通电流而共同产生45度四极场，所述45度四极场围绕所述离子束的主轴在所述离子束上施加旋转力。